형상 측정 레이저 마이크로스코프

VK-X 시리즈

이 모델은 단종되었습니다.
규격인증의 적합 현황은 당사 출하 시점의 정보가 기준이 됩니다.

전동 X-Y 스테이지 VK-S105

VK-S105 - 전동 X-Y 스테이지

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

  • CE Marking
  • CSA

사양

모델

VK-S105

이동 방향

X·Y축

스트로크

50×50 mm

테이블 사이즈

100×100 mm

가이드 방법

크로스 롤러 가이드

피드 방법

정밀 폴 나사, 리드 1 mm

축 변환 관성

X축 9.29×10-7kg·m2, Y축 9.62×10-7kg·m2

모터

0.35A/상, 5상 스테핑 모터
5선 펜타곤 결선, 유지 토크:0.017 N·m,
로터 관성:4.2 g·cm2

분해도

1 µm

위치 결정 정밀도

10 µm

반복 위치 결정 정밀도

±1 µm

반동

1 µm

로스트 모션

3 µm

직관성 (수직·수평)

5 µm

평행성 A

X: 10 µm, Y: 10 µm

XY 직각도

10 µm

내가중

3 kg

주 재료·개관

알루미늄 합금·블랙 알루마이트 마무리

중량

2.5 kg

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