측정부(1프로브) XM-1000

모델

XM-1000

종류

측정부(1프로브)

카메라

촬상 소자

400만 화소 CMOS 화상 센서

수광 중심 파장

근적외광

측정 범위

300 mm×250 mm×150 mm

최소 표시 단위

거리

1 µm

각도

0.0001도

측정 정도

반복 정도

스테이지 잠금 시：±3 µm

지시 오차

스테이지 잠금 시：±8 µm^*1

스테이지부

내하중

25 kg

X축 가동 범위

―

회전 범위

프로브

프로브 수

1

스테이지 마커

마커 수

―

마커 광원

프로브 접속 포트

2입력

콘솔 입력

전용 콘솔

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점) 2입력

인터페이스

통신(외부 통신)

USB2.0 시리즈 A 3계통

디스플레이

내장 디스플레이

15인치 LCD모니터(XGA:1024×768)

내환경성

사용 주위 온도

+10 ~ +35 °C

사용 주위 습도

20 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

전원

전원 전압

컨트롤러에서 공급

커넥터 형상

전용 커넥터

중량

헤드: 약 28.2 kg (카메라·케이블 포함)
콘솔: 약 150 g (케이블 포함)