헤드 IM-7030T

모델

IM-7030T

종류

헤드
가변 조명·라이트 프로브 유닛 탑재 접촉식 높이 측정 유닛 와이드 스테이지 모델

촬상 소자

1인치　660만 화소　흑백 CMOS

디스플레이

10.4인치　LCD 모니터 (XGA: 1024 × 768)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야 측정 모드：300 × 200 mm (4모서리 R50)
고정도 측정 모드：225 × 125 mm

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정도

스테이지 이동 없음

광시야 측정 모드：±1 µm
고정도 측정 모드：±0.5 µm

스테이지 이동 있음

광시야 측정 모드：±2 µm
고정도 측정 모드：±1.5 µm

측정 정도 ±2σ

연결 없음

광시야 측정 모드：±5 µm^*1
고정도 측정 모드：±2 µm^*2

연결 있음

광시야 측정 모드：± (7 +0.02L) µm^*3
고정도 측정 모드：± (4 +0.02L) µm^*4

라이트 프로브측정

측정 가능 영역(XY)

190 × 90 mm

최대 측정 깊이

30 mm

라이트 프로브 직경

ø3 mm

측정력

0.015 N

반복 정도

±2 µm^*5

측정 정도

±(8 + 0.02L) µm^*6

높이 측정

측정 범위

0 ~ 75 mm

측정력

0.3 N

측정 위치 정도(XY)

±0.2 mm^*7

최소 표시 단위

1 µm

측정 가능 영역(XY)

광시야 측정 모드：145 × 95 mm
고정도 측정 모드：107.5 × 95 mm

반복 정도

±2 µm^*8

측정 정도

±7.5 µm^*9

인터페이스

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB3.1

4포트(뒷면: 4포트)

USB2.0 시리즈 A

2포트(앞면: 2포트)

외부 리모트 입력

무전압 입력 (유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 출력
정격 부하: 24 VDC, 0.5A
ON 저항: 50 mΩ 이하

메모리

하드디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

4분할 멀티 앵글 조명 (전동)
슬릿 링 (지향성) 조명 (전동)

XY 스테이지

이동 범위

200 × 100 mm (전동)

내하중

7.5 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm (전동)

전원

전원 전압

100 ~ 240 VAC　50/60 Hz

소비 전류

430 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10 ~ 35℃

사용 주위 습도

20 ~ 80％ RH (결로되지 않을 것)

중량

약 35 kg