200 mm×200 mm 스테이지 가변 조명·라이트 프로브 유닛 탑재 모델 IM-8020

모델

IM-8020

종류

헤드

촬상 소자

1인치　2000만 화소　흑백 CMOS

디스플레이

12.1인치　LCD 모니터(WXGA: 1280×800)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야 측정 모드

200 mm×200 mm (4모서리 R50)

고정도 측정 모드

125 mm×125 mm

최소 표시 단위

0.1 μm

반복 정도

광시야 측정 모드

스테이지 이동 없음

±1 μm

스테이지 이동 있음

±2 μm

고정도 측정 모드

스테이지 이동 없음

±0.5 μm

스테이지 이동 있음

±1.5 μm

측정 정도 ±2σ

광시야 측정 모드

연결 없음

±3.9 μm ^*1

연결 있음

±(7+0.02L) μm ^*2

고정도 측정 모드

연결 없음

±2 μm ^*3

연결 있음

±(4+0.02L) μm ^*4

외경 측정

측정 정도

광시야 측정 모드

±(2.8+0.02D) μm ^*5

고정도 측정 모드

±(1.4+0.04D) μm ^*6

라이트 프로브 측정

측정 가능 영역(XY)

90 mm×90 mm

최대 측정 깊이

30 mm

라이트 프로브 직경

ø3 mm

측정력

0.015 N

반복 정도

±2 μm ^*7

측정 정도

±(8+0.02L) μm ^*8

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 출력
정격 부하　24 VDC　0.5 A
ON 저항　50 mΩ 이하

인터페이스

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4포트(뒷면 4)

USB 2.0 시리즈A

4포트(앞면 2, 뒷면 2)

모니터 출력

DVI-D

메모리

하드디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

4분할 멀티 앵글 조명(전동), 슬릿 링(지향성) 조명(전동)

XY 스테이지

이동 범위

100 mm×100 mm(전동)

내하중

5 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm(전동)

전원

전원 전압

100~240 VAC　± 10％　50/60 Hz

소비 전력

430 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10~35℃

사용 주위 습도

20~80％RH(결로되지 않을 것)

과전압 카테고리

Ⅱ

오염 등급

2

중량

약 30 kg