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백색 간섭 변위 센서(3D)는 측정 에어리어에 대해 「면」으로 투광하는 변위 센서입니다. 면의 빛을 통해 대상 물체의 재질·색으로부터 영향을 받지 않고 동축으로 측정하기 때문에, 좁은 부분이나 홈의 가장자리 등 요철 형상으로 인한 반사광 차단이 발생하지 않습니다. 높이 정보를 이용하여 단차·폭·각도·체적·거칠기·평탄도 등을 다양하게 측정할 수 있습니다.
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백색 간섭 원리로 고속·고정도 3D 측정을 실현. 단차/체적부터 폭/면적까지 다양한 측정에 대응합니다.
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최대 10×10 mm의 측정 에어리어에서 8만 점의 높이 데이터를 순식간에 취득. 백색 간섭 원리를 통해 재질·색, 사각(死角)의 영향 없이 미크론 단위의 고정도 측정을 실현합니다.
다점 측정을 위해서는 대상 물체를 고정도 및 고속으로 스캔해야 하는데 스테이지 이동에 시간이 걸리기 때문에 전수 검사가 어려웠습니다. WI-5000 시리즈는 면으로 일괄 측정하기 때문에 측정 시간이 크게 단축되어 전수 검사가 가능합니다.
