사양 3D 백색 간섭 변위 센서 WI-5000 시리즈

모델

WI-001*1*2*3

WI-004*1*2*3

WI-010*1*2*3

이미지

기준 거리

18 mm

측정 범위

Z

1.4 mm(표준 모드), 0.7 mm(고속 모드)

XY

1 × 1 mm

4 × 4 mm

10 × 10 mm

최소 검출 에어리어

4 × 4 µm

15 × 15 µm

40 × 40 µm

반복 정도(단차)

0.1 µm*4

직선성(단차)

±2.8 µm (±0.2 % of F.S., F.S. = 1.4 mm, +20 ~ +30 °C)*5

측정용 광원

종류

적외 SLD

중심 파장

830 nm

레이저 등급(IEC60825-1)

3R등급

출력

3.6 mW

가이드용 광원

종류

적색 반도체 레이저

파장

660 nm

레이저 등급(IEC60825-1)

1등급

출력

0.15 mW

샘플링 주기

내부 트리거

133 ms(고속 모드), 266 ms(표준 모드)

외부 트리거

최고 속도 266 ms(고속 모드), 최고 속도 532 ms(표준 모드)*6

내환경성

사용 주위 조도

백열 램프·형광등: 5,000 lux 이하

사용 주위 온도

0 ~ +35 °C

사용 주위 습도

20 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

중량

약 3,000 g

*1 FDA(CDRH)의 Laser Notice No.50의 규정에 따라 IEC60825-1의 기준으로 등급 구분을 실시하고 있습니다.높이(헤드 기준면에서 측정 대상 물체까지의 거리) 분해능은 1 µm(*2)입니다.
*2 당사 표준 대상 물체를 사용하여 직사각형 영역(*3) 한 곳의 평균 높이를 30초간 측정했을 경우의 ±3σ값(자동 유지 보수가 OFF일 때)
*3 직사각형의 크기는 WI-001:0.3 × 0.9 mm, WI-004:1.1 × 3.7 mm, WI-010:3 × 9 mm
*4 당사 표준 대상 물체를 사용하여 직사각형 영역(*3) 두 곳의 평균 단차를 30초간 측정했을 경우의 σ값(자동 유지 보수가 OFF이고 촬상 타이밍이 정도 우선일 때)
*5 당사 표준 대상 물체를 사용하여 직사각형 영역 (*3) 두 곳의 평균 단차를 측정했을 경우의 값 (자동 유지 보수가 OFF 이고 촬상 타이밍이 정도 우선일 때)
*6 촬상 시 대상 물체의 정지 시간은 고속 모드 120 ms, 표준 모드 240 ms입니다.

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모델

WI-5000

이미지

헤드 접속 대수

1대

설정 등록 수

SD 카드1, SD 카드2 각각 1000설정까지(SD 카드 용량 및 설정 내용에 따라 다름), 외부 전환 가능

측정 툴 수

100개/설정(이중 20개는 위치 어긋남 보정용)

측정 모드

높이

높이 측정, 단차 계측, 다점 높이계측(배열), 다점 높이계측(자유), 프로파일계측, 연속 높이 측정

화상 치수 측정

거리를 측정, 폭을 측정, 직선 검출/각도를 측정, 원을 검출, 점을 검출

보조 기능

수치 연산, 이미지 영역 생성, 직선 표시, 원 표시, 점 표시, 눈금선 표시

인터페이스

제어 입력

20점(입력 단자대 5점, 패럴렐 I/O 15점)

제어 출력

・28점(출력 단자대 6점, 패럴렐 I/O 22점)
・포토 MOSFET*1

RS-232C

수치 출력 및 제어 입출력(RS-232C 포트를 사용한 PLC 링크와는 배타적 사용)

PLC 링크

Ethernet 포트 또는 RS-232C 포트를 사용한 수치 출력 및 제어 입출력
(EtherNet/IP와는 배타적 사용. RS-232C 포트 사용 시 RS-232C 무수순 통신과는 배타적 사용)

Ethernet

・수치 출력 및 제어 입출력
・KEYENCE의 PC 애플리케이션 소프트웨어와 접속하여 상기 기능 외에 검사 설정의 업로드, 다운로드,각종 시뮬레이션, 화상 데이터를 포함한 각종 데이터의 송수신· 리모트 데스트톱이 가능
・FTP 클라이언트·서버 기능 대응, VNC 서버 기능(PC 이외의 클라이언트에서는 모니터 화면 표시만 대응), BOOTP 기능 대응
・1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T

USB

・KEYENCE의 PC 애플리케이션 소프트웨어와 접속하여 수치 출력, 제어 입출력 외에 검사 설정의 업로드, 다운로드, 각종 시뮬레이션, 화상 데이터를 포함한 각종 데이터의 송수신·리모트 데스트톱이 가능
・USB2.0 전용

EtherNet/IP

・Ethernet 포트를 사용한 수치 입출력 및 제어 입출력(PLC 링크와는 배타적 사용)
・사이클릭 통신 대응(최대 1436 byte), 메시지 통신 대응
・최대 커넥션 수 32
・규격 적합성 시험 Version.CT12에 의거

마우스

선택 사양인 전용 마우스(컨트롤러에 동봉)에 의한 각종 메뉴 조작이 가능

USB HDD

전용 USB 포트(USB3.0 의거·버스 파워 대응:정격 출력 900 mA)에 HDD(최대 2 TB)를 접속하면
화상 데이터를 포함한 각종 데이터 출력이 가능

모니터 출력

아날로그 RGB 출력 XGA 1024 × 768(24 bit 컬러, 60 Hz)

최소 표시 단위

0.1 µm, 0.001°, 0.0001 mm2, 0.00001 mm3

표시 언어

한국어/일본어/영어/중국어(간체)/중국어(번체) 전환(처음 실행 시 초기 언어를 선택)

정격

최대 소비 전류

2.7 A

전원 전압

24 VDC ±10 %

내환경성

사용 주위 온도

0 ~ +45 °C (DIN 레일 설치 시), 0 ~ +40 °C (바닥면 설치 시)

사용 주위 습도

35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

중량

약 2,000 g

*1 NPN 입력 기기에 대응하는 플러스 코먼 접속, PNP 입력 기기에 대응하는 마이너스 코먼 접속 모두 가능

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모델

WI-S1

이미지

XY 스테이지 이동량

X축:75 mm, Y축:50 mm

XY 스테이지 기울기 각도

±2도

Z축 스테이지 이동량

조동:64 mm, 미동:2.0 mm

외형 치수(가동부 제외)

폭 231 × 높이 408 × 깊이 360 mm

중량

약 10 kg

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모델

WI-C3

WI-C5

WI-C10

WI-C3L

WI-C5L

WI-C10L

WI-C3R

WI-C5R

WI-C10R

이미지

종류

헤드 접속 케이블 표준

헤드 접속 케이블 내굴곡

케이블 말단

스트레이트

L자

스트레이트

길이

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

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