디지털 마이크로스코프
VHX-6000 시리즈
프리 앵글 관찰 시스템 (Z 전동) VHX-S600E
사양
모델 | VHX-S600E | |||
XYθ 스테이지 | XY 스테이지 전동/수동 | 수동 | ||
XY 자동 스테이지 모터 | - | |||
XY 자동 스테이지 분해능 | ||||
XY 자동 스테이지 이동 속도 | ||||
XY 스테이지 이동량 | ±35 mm | |||
θ 회전각 | 360도 | |||
XYθ 스테이지 사이즈 | 윗면 198×150 mm(중앙 원판 ø136) | |||
투과 조명 관찰 대응 배율 | 20배 이상 | |||
포커스 Z축 | Z 스테이지 전동/수동 | 전동 | ||
Z 자동 스테이지 모터 | 5상 스테핑 모터 | |||
Z 자동 스테이지 분해능 | 0.1 μm(typ) | |||
Z 자동 스테이지 이동 속도 | 17 mm/sec(최대) | |||
Z 스테이지 이동량 | 49 mm | |||
Z 스테이지 | Z 스테이지 전동/수동 | 수동 | ||
Z 자동 스테이지 모터 | - | |||
스테이지 Z축 | Z 자동 스테이지 분해능 | |||
Z 스테이지 | Z 자동 스테이지 이동 속도 | |||
Z 스테이지 이동량 | 45 mm | |||
사이드 카메라 | 없음 | |||
적재 하중 | 5 kg | |||
정격 | 전원 전압 | 100~240 VAC ±10％ 50/60 Hz | ||
소비 전력 | 50 VA | |||
내환경성 | 사용 주위 온도 | +5~40℃ | ||
사용 주위 습도 | 35~80%RH(결로되지 않을 것) | |||
중량 | 약 17.2 kg | |||