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031-789-4300
스폿 직경 φ3.5 μm정도로 작은초소형 스폿으로 스캔하여 고정도 측정 실현
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고속, 연속 형상 측정이 가능,각 포인트의 치수를 실시간으로 측정
CMOS의 다이내믹 레인지가 넓어투명체의 굴곡·주름 측정 가능