전자동 형상 측정」
새로운 원리
레이저
마이크로스코프
NEW형상 측정 레이저 마이크로스코프
VK-X 시리즈

지금까지의 거칠기 측정기는…

접촉식의 한계

  • 샘플에 흠집이 생길 수 있다
  • 원하는 부분에 맞추기가 어렵다
  • 촉침의 선단 직경이 분해능의 한계

지금까지의 간섭 측정기는…

원리의 한계

  • 가파른 형상은 측정할 수 없다
  • 대상 물체를 수평으로 세팅해야 한다
  • 컬러 관찰이 불가능하다

SEM의 과제…

원리의 한계

  • 진공화가 필요하다
  • 증착 등 전처리가 필요하다
  • 컬러 관찰이 불가능하다

능숙하게 다루기가 어렵다!

형상 측정 레이저 마이크로스코프 VK-X 시리즈라면
누구나 간단히 고정도로

전자동 측정

  • 새로운 측정 알고리즘
    RPDII / AI 스캔
  • 놓고 클릭만 하면 측정 완료
  • 수평 조정 불필요
    숙련된 기술 불필요

레이저로 비접촉·고정도의 「거칠기」 측정

  • 대상 물체를 손상시키지 않는다
  • 원하는 곳을 순식간에 측정
  • 가파른 형상도 정확하게 측정
  • 50 mm 영역부터 1 nm 영역까지 고정도로 측정

고해상도 풀 컬러 관찰

  • 대기 중에서 SEM과 같은 고해상도
  • 28800배까지 컬러 관찰

자세한 내용은 카탈로그를 참조해 주십시오.

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