전자동으로 형상 해석 새로운 원리의 레이저 현미경

컨트롤러부 VK-X3000

  • 기존의 조도 측정기

    X 접촉식의 한계 샘플에 흠집이 발생한다 정확한 포인트를 측정할 수 없다 선단 반경이 제한적이다

  • 기존의 간섭계

    X 원리의 한계 각도 특성이 낮다. 기울기 조정이 필요하다. 수평 해상도가 낮다.

  • SEM의 과제

    X 원리의 한계 심도가 얕다. 배율·색이 제한적이다. 대상 물체가 제한적이다.

사용하기 어렵다!

백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 VK-X 시리즈는 누구나 고정도로 간단하게

새로운 원리 RPDⅡ/ A스캔 놓고 누르기만 하면 측정 수평 맞춤 불필요, 스킬 불필요

point01 레이저로 비접촉·고정도 「거칠기」측정

대상 물체에 흠집이 발생하지 않는다 정확한 포인트를 순식간에 계측 가파른 형상도 정확하게 측정 50mm 에서 1nm 까지 고정도로 측정

point02 고해상도 풀 컬러 관찰

대기중에서 SEM과 같은 고해상도 28800배까지 컬러 관찰