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          형상 측정 레이저 마이크로스코프VK-X 시리즈

          VK-S105

          전동 X-Y 스테이지

          [단종 모델]

          이 모델은 단종되었습니다.

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          모델

          VK-S105

          이동 방향

          X·Y축

          스트로크

          50×50 mm

          테이블 사이즈

          100×100 mm

          가이드 방법

          크로스 롤러 가이드

          피드 방법

          정밀 폴 나사, 리드 1 mm

          축 변환 관성

          X축 9.29×10-7kg·m2, Y축 9.62×10-7kg·m2

          모터

          0.35A/상, 5상 스테핑 모터
          5선 펜타곤 결선, 유지 토크:0.017 N·m,
          로터 관성:4.2 g·cm2

          분해도

          1 µm

          위치 결정 정밀도

          10 µm

          반복 위치 결정 정밀도

          ±1 µm

          반동

          1 µm

          로스트 모션

          3 µm

          직관성 (수직·수평)

          5 µm

          평행성 A

          X: 10 µm, Y: 10 µm

          XY 직각도

          10 µm

          내가중

          3 kg

          주 재료·개관

          알루미늄 합금·블랙 알루마이트 마무리

          중량

          2.5 kg

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