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        키워드

          형상 측정 레이저 마이크로스코프VK-X 시리즈

          VK-X1000

          컨트롤러부

          사양

          언어 선택

          모델

          VK-X1000

          종류

          컨트롤러부

          종합 배율

          ~28,800 배*1

          시야 (최소 시야 범위)

          11 µm~7,398 µm

          프레임 레이트 (레이저 측정 속도)

          4~125 Hz, 7,900 Hz*2

          측정 원리

          광학계

          핀홀 공초점 광학계, 포커스 배리에이션

          수광 소자

          16 bit 센싱 포토멀티플라이어, 초고해상도 컬러CMOS

          스캔 방식
          (일반 측정 시 및 화상 연결 시)

          자동 상하한 설정 기능, 고속 광량 최적화 기능 (AAGⅡ) , 반사 광량 부족 보완 기능 (더블 스캔)

          높이 측정

          표시 분해능

          0.5 nm (VK-X1100) , 5 nm (VK-X1050)

          리니어 스케일

          다이내믹 레인지
          (대상 물체로부터의 수광량 적응 폭)

          16 bit

          반복 정도 σ

          레이저 공초점

          20 x : 40 nm, 50 x : 12 nm (VK-X1100)
          20 x : 40 nm, 50 x : 20 nm (VK-X1050)

          포커스 배리에이션

          5 x : 500 nm, 10 x : 100 nm, 20 x : 50 nm, 50 x : 20 nm (VK-X1100)
          5 x : 500 nm, 10 x : 100 nm, 20 x : 50 nm, 50 x : 30 nm (VK-X1050)

          높이 데이터 취득 범위

          70 만 스텝

          정확도

          0.2 + L/100 µm 이하 (L = 측정 길이 µm)*3

          폭 측정

          표시 분해능

          1 nm (VK-X1100) ,10 nm (VK-X1050)

          반복 정도 3σ

          레이저 공초점

          20 x : 100 nm, 50 x : 40 nm (VK-X1100)
          20 x : 100 nm, 50 x : 50 nm (VK-X1050)

          포커스 배리에이션

          5 x : 400 nm, 10 x : 400 nm, 20 x : 120 nm, 50 x : 50 nm (VK-X1100)
          5 x : 400 nm, 10 x : 400 nm, 20 x : 120 nm, 50 x : 65 nm (VK-X1050)

          정확도

          측정값의 ±2 % 이내*3

          XY스테이지구성

          수동 가동 범위

          70 mm x 70 mm

          전동 가동 범위

          100 mm x 100 mm

          관찰

          관찰 화상

          초고해상도 컬러CMOS 화상, 16 bit 레이저 컬러 공초점 화상, 공초점 + ND 필터 광학계, C - 레이저 미분 간섭 화상

          조명

          링 조명, 동축 낙사 조명

          측정용 레이저 광원

          파장

          자색 반도체 레이저 404 nm (VK-X1100)
          적색 반도체 레이저 661 nm (VK-X1050)

          최대 출력

          1 mW

          레이저 등급

          2 등급 레이저 제품 (KS C IEC60825-1)

          전원

          전원 전압

          100~240 VAC, 50/60 Hz

          소비 전류

          150 VA

          중량

          약 3.0 kg

          *1 23 인치 모니터 화면 상에서의 배율 (전체 화면 표시일 때)
          *2 측정 모드/측정 품질/렌즈 배율의 조합 중 최고 속도인 경우. 라인 스캔은 측정 피치가 0.1 µm 이내일 때
          *3 표준 시료 (기준 스케일) 를 20 배 이상의 렌즈로 측정했을 때

          측정 시스템 라이브러리

          측정 시스템