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          형상 측정 레이저 마이크로스코프VK-X 시리즈

          VK-X130K

          측정부

          [단종 모델]

          이 모델은 단종되었습니다.

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          모델

          VK-X130K

          종합 배율

          ~19200배*1

          시야(최소 시야 범위)

          16 µm~5400 µm

          프레임 레이트

          레이저 측정 속도

          4 ~ 120 Hz, 7,900 Hz*2

          측정 원리

          광학계

          핀홀 공초점 광학계

          수광 소자

          포토 멀티 플레이어 -16 bit 센싱-

          스캔 방식(일반 측정 시 및 화상 연결 시)

          자동 상하한 설정 기능 고속 광량 최적화 기능(AAGⅡ) 반사 광량 부족 보완 기능(더블 스캔)

          높이 측정

          표시 분해능

          5 nm

          리니어 스케일

          다이내믹 레인지(대상 물체로부터의 수광량 적응 폭)

          16 bit

          반복 정도(σ)

          20x: 40 nm, 50x: 20 nm, 100x: 20 nm*3

          Z축 계측용 메모리

          140만 스텝

          측정 정도

          0.2 + L/100 µm 이하 (L = 측정 길이)*4

          Z스테이지구성

          구조

          측정 헤드 분리 구조

          최대 시료 높이

          28 mm, 128 mm (선택사양)

          폭 측정

          표시 분해능

          10 nm

          반복 정도 3σ

          20x: 100 nm, 50x: 50 nm, 100x: 30 nm*3

          측정 정도

          ±2%*3

          XY 스테이지구성

          수동가동범위

          70 mm×70 mm

          전동가동범위

          100 mm × 100 mm*5

          관찰

          관찰 화상

          초고해상도 컬러 CCD 화상
          16 bit 레이저 컬러 공초점 화상
          공초점+ND 필터 광학계
          C-레이저 미분 간섭 화상

          최대 촬영 해상도

          3072×2304

          측정용 레이저 광원

          파장

          적색 반도체 레이저 658 nm

          최대 출력

          0.95 mW

          레이저 등급

          2등급 레이저 제품(KS C IEC60825-1)

          중량

          측정부

          약 25 kg (분리 시 헤드 단품:약 8.5 kg)

          컨트롤러 부

          약 11 kg

          *1 23인치 모니터 표기
          *2 측정 모드/측정 품질/렌즈 배율의 조합 중 최고 속도인 경우. 라인 스캔은 측정 피치가 0.1 µ 이내일 때.
          *3 주위 온도 20±2℃에서 표준 시료(표준 스케일)를 20배 이상의 렌즈로 측정했을 때 . 단, VK-X120K/130K은 100배 렌즈 제외.
          *4 주위 온도 20 ±2 °C 에서 표준 시료 (표준 스케일) 를 20 배 이상의 렌즈로 측정했을 때. 단, VK-X120K/130K 은 100 배 렌즈 제외.
          *5 전동 스테이지 장착 시.

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