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          형상 측정 레이저 마이크로스코프VK-X 시리즈

          VK-X260K

          측정부

          [단종 모델]

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          모델

          VK-X260K

          종합 배율

          ~28800배*1

          시야(최소 시야 범위)

          11 µm~5400 µm

          프레임 레이트

          레이저 측정 속도

          4 ~ 120 Hz, 7,900 Hz*2

          측정 원리

          광학계

          핀홀 공초점 광학계

          수광 소자

          포토 멀티 플레이어 -16 bit 센싱-

          스캔 방식(일반 측정 시 및 화상 연결 시)

          자동 상하한 설정 기능 고속 광량 최적화 기능(AAGⅡ) 반사 광량 부족 보완 기능(더블 스캔)

          높이 측정

          표시 분해능

          0.5 nm

          리니어 스케일

          다이내믹 레인지(대상 물체로부터의 수광량 적응 폭)

          16 bit

          반복 정도(σ)

          20x: 40 nm, 50x: 12 nm, 150x: 12 nm*3

          Z축 계측용 메모리

          1400만 스텝

          측정 정도

          0.2 + L/100 µm 이하 (L = 측정 길이)*4

          Z스테이지구성

          구조

          측정 헤드 분리 구조

          최대 시료 높이

          28 mm, 128 mm (선택사양)

          폭 측정

          표시 분해능

          1 nm

          반복 정도 3σ

          20x: 100 nm, 50x: 40 nm, 150x: 20 nm*3

          측정 정도

          ±2%*3

          XY 스테이지구성

          수동가동범위

          70 mm×70 mm

          전동가동범위

          100 mm × 100 mm*5

          관찰

          관찰 화상

          초고해상도 컬러 CCD 화상
          16 bit 레이저 컬러 공초점 화상
          공초점+ND 필터 광학계
          C-레이저 미분 간섭 화상

          최대 촬영 해상도

          3072×2304

          측정용 레이저 광원

          파장

          자외선 레이저 408 nm

          최대 출력

          0.95 mW

          레이저 등급

          2등급 레이저 제품(KS C IEC60825-1)

          중량

          측정부

          약 26 kg (분리 시 헤드 단품:약 10kg)

          컨트롤러 부

          약 11 kg

          *1 23인치 모니터 표기
          *2 측정 모드/측정 품질/렌즈 배율의 조합 중 최고 속도인 경우. 라인 스캔은 측정 피치가 0.1 µ 이내일 때.
          *3 주위 온도 20±2℃에서 표준 시료(표준 스케일)를 20배 이상의 렌즈로 측정했을 때 . 단, VK-X120K/130K은 100배 렌즈 제외.
          *4 주위 온도 20 ±2 °C 에서 표준 시료 (표준 스케일) 를 20 배 이상의 렌즈로 측정했을 때. 단, VK-X120K/130K 은 100 배 렌즈 제외.
          *5 전동 스테이지 장착 시.

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