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          형상 측정 레이저 마이크로스코프

          VK-X 시리즈

          시스템 구성

          보편성을 진화시키는 풍부한 옵션

          보편성을 진화시키는 풍부한 옵션

          VK용 스탠드

          현미경 배면부에 고강성의 전용 스탠드를 설치, 임의의 높이로 헤드부를 조정할 수 있습니다. 헤드부와 스테이지에 스페이서를 삽입하여 안정성을 향상시키고 고정도 측정을 가능케 했습니다.

          대물 렌즈

          대물 렌즈

          높은 N.A.를 자랑하는 APO 렌즈를 비롯하여 장거리 렌즈에서부터 저배율 렌즈까지 대상 물체에 따라 다양하게 사용할 수 있도록 폭넓게 구성.

          300㎜ 웨이퍼 스테이지

          300㎜ 웨이퍼 스테이지

          전 영역을 사각 없이 관찰·분석할 수 있습니다. 측정부에 그대로 설치할 수 있습니다.

          전동 스테이지

          전동 스테이지

          화상 자동 연결이나 티칭에 필요한 전동 스테이지. 측정부에 그대로 설치할 수 있습니다.

          대형 샘플 스테이지

          대형 샘플 스테이지

          대형 액정 기판, PDP 기판 등 대형 대상 물체를 파괴하지 않고 임의의 포인트를 관찰·분석할 수 있게 되었습니다.

          ISO 25178 표면성장 계측 모듈 VK-H1XR

          표면성장 계측 모듈 VK-H1XR

          국제 규격 ISO25178에 준하는, 면의 각종 파라미터를 산출할 수 있는 추가 모듈 소프트입니다. 높이·공간·복합·기능·기능(체적) 파라미터 등 다양한 파라미터를 간단히 계측할 수 있습니다.

          분석 기능 확장 모듈 VK-H1XP [선택 사양]

          요철부 계측

          지정한 높이의 한계값보다 상부(요부), 또는 하부(철부)의 영역을 공간별로 분리하여 각 영역에 대해 계측할 수 있습니다.

          요부 계측

          요부 계측

          가공 후 금속 부품 표면(3000x)

          철부 계측

          철부 계측

          범프(2000x)

          위치 보정 기능 [업계 최초]

          사전에 표준 시료를 등록하고, 다른 화상을 템플릿에서 열 때 등록한 시료와 같은 위치에 오도록 자동으로 위치를 보정합니다. n수를 많이 측정할 때 유효합니다.

          자동 위치 보정

          자동 위치 보정

          와이어 본딩(1000x)

          높이 차분 분석 기능

          높이 차분 분석 기능

          두 화상 사이의 차분을 입체적인 3차원 화상으로 분석합니다. 면으로의 분석이 가능하기 때문에 미세한 변화도 잡아낼 수 있습니다.

          구·면 각도 계측

          지정한 높이의 한계값보다 상부(요부), 또는 하부(철부)의 영역을 공간별로 분리하여 각 영역에 대해 계측할 수 있습니다.

          구 계측

          구 계측

          마이크로 렌즈(1000x)

          입자 분석 모듈 VK-H1XG [선택 사양]

          입자 분석 모듈 VK-H1XG [선택 사양]

          시야 범위 내에 여러 개의 입자(원) 형상이 있는 대상 물체에 대하여 자동으로「원형 분리」「팽창」「축퇴」 처리를 실시하여 인접하는 원 형상의 자동 분리 등 계측 전 처리 후에「개수」「입경」「장경·단경」을 계측할 수 있습니다.

          • 소개만 해도 100% 선물 증정 현미경/조도 측정기/2차원· 3차원 측정기 [자세히 보기]

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