기판의 휨
휜 형태를 전체적으로 넓은 범위에서 확인할 수 있다. 프로브를 사용한 측정기로는 국소적인 평가밖에 할 수 없었지만, 면 전체를 평가할 수 있게 되면서 판단의 정도가 크게 향상되었다.

다양한 적용사례는 카탈로그에서