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          원 샷 3D 형상 측정기VR 시리즈

          VR-3200

          원 샷 3D 형상 측정기 헤드

          사양

          언어 선택

          모델

          VR-3200

          종류

          헤드

          대응 컨트롤러

          VR-3000K

          관찰 측정 범위

          광시야 모드

          15인치 모니터 상 배율:12×

          가로(H)

          24mm

          세로(V)

          18mm

          15인치 모니터 상 배율:25×

          가로(H)

          12mm

          세로(V)

          9mm

          15인치 모니터 상 배율:38×

          가로(H)

          8mm

          세로(V)

          6mm

          15인치 모니터 상 배율:50×

          가로(H)

          세로(V)

          4.5mm

          고배율 모드

          15인치 모니터 상 배율:40×

          가로(H)

          7.6mm

          세로(V)

          5.7mm

          15인치 모니터 상 배율:80×

          가로(H)

          3.8mm

          세로(V)

          2.9mm

          15인치 모니터 상 배율:120×

          가로(H)

          2.5mm

          세로(V)

          1.9mm

          15인치 모니터 상 배율:160×

          가로(H)

          세로(V)

          1.4mm

          1~4배

          측정 가능 높이

          광시야 모드:10mm(±5mm) 고배율 모드:1mm(±0.5mm)*1

          표시 분해능

          0.1 µm*2

          반복 정도(σ)

          높이 측정

          0.5 µm*3

          폭 측정

          광시야 모드:1 µm, 고배율 모드:0.5 µm*3

          측정 정도

          높이 측정

          ±3 µm*3

          폭 측정

          광시야 모드:±5 µm, 고배율 모드:±2 µm*3

          스테이지

          XY 스트로크

          184 x 88 mm(전동)

          Z 스트로크

          90 mm(전동)

          회전 기구

          ±180°(시료 회전 스테이지)

          틸트 기구

          ±30° 이상

          작동 거리

          75 mm

          촬상 소자

          1인치 400만 화소 흑백 CMOS

          투광 렌즈

          더블 텔레신트릭 렌즈x2

          수광 렌즈

          더블 텔레센트릭 렌즈

          조명계

          관찰용 광원

          LED 링 조명(적색, 녹색, 청색)

          측정용 광원

          백색 LED

          화상 사이즈

          1024x768픽셀, 2048x1536픽셀

          데이터 처리부

          KEYENCE 지정 전용 PC(OS는 Windows7)*4

          정격

          전원 전압

          100 ~ 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

          소비 전력

          150 VA

          내환경성

          주위 온도

          +15 ~ +30 °C

          사용 주위 습도

          35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것)

          중량

          28.0 kg

          *1 초점 위치를 중심으로 광시야 모드±5 mm, 고배율 모드±0.5 mm의 범위
          *2 높이 측정 분해능
          *3 당사 규정의 표준 게이지를 사용하여 당사 규정의 측정 모드로 측정한 값(주위 온도 23±1℃)
          *4 Windows7 Professsinal 및 Ultimate

          측정 시스템 라이브러리

          측정 시스템