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          이미지 치수 측정 시스템IM-7000 시리즈

          IM-7000

          컨트롤러

          사양

          언어 선택

          모델

          IM-7000*1

          종류

          컨트롤러

          촬상 소자

          1인치 660만 화소 흑백 CMOS

          디스플레이

          10.4인치 LCD 모니터(XGA: 1024×768)

          수광 렌즈

          더블 텔레센트릭 렌즈

          화상 측정

          시야

          광시야 측정 모드: 200×200 mm(4모서리 R50)
          고정도 측정 모드: 125×125 mm

          최소 표시 단위

          0.1 µm

          반복 정도

          스테이지 이동 없음

          광시야 측정 모드: ±1 µm
          고정도 측정 모드: ±0.5 µm

          스테이지 이동 있음

          광시야 측정 모드: ±2 µm
          고정도 측정 모드: ±1.5 µm

          측정 정도 ±2σ

          연결 없음

          광시야 측정 모드: ±5 µm*2
          고정도 측정 모드: ±2 µm*3

          연결 있음

          광시야 측정 모드: ±(7+0.02L) µm*4
          고정도 측정 모드: ±(4+0.02L) µm*5

          라이트 프로브 측정

          측정 가능 영역(XY)

          90×90 mm

          최대 측정 깊이

          30 mm

          라이트 프로브 직경

          ø3 mm

          측정력

          0.015 N

          반복 정도

          ±2 µm*6

          측정 정도

          ±(8+0.02L) µm*7

          외부 리모트 입력

          무전압 입력(유접점/무접점)

          외부 출력

          OK/NG/FAIL/MEAS.

          PhotoMos 출력
          정격 부하 24 VDC 0.5 A
          ON 저항 50 mΩ 이하

          인터페이스

          LAN

          RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

          USB2.0 시리즈 A

          6포트(앞면: 2포트/뒷면: 4포트)

          메모리

          하드 디스크 드라이브

          500 GB

          조명 시스템

          투과

          텔레센트릭 투과 조명

          낙사

          4분할 링 조명(IM-7010)
          4분할 멀티 앵글 조명(전동), 슬릿 링(지향성) 조명(전동) (IM-7020)

          XY 스테이지

          이동 범위

          100×100 mm(전동)

          내하중

          5 kg

          Z 스테이지

          이동 범위

          75 mm(전동)

          전원

          전원 전압

          100~240 VAC 50/60 Hz

          소비 전력

          430 VA 이하

          *1 라이트 프로브 측정(IM-7020)
          *2 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
          *3 ø20 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
          *4 180×180 mm(4모서리 R40)의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때 L은 스테이지 이동량(mm)
          *5 120×120 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때 L은 스테이지 이동량(mm)
          *6 검출 방법이 표준일 때 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±3 µm
          *7 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 23℃±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10+0.02L) µm L은 측정 길이(mm)

          측정 시스템 라이브러리

          측정 시스템