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          이미지 치수 측정 시스템IM-7000 시리즈

          IM-7030

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          IM-7030

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          헤드
          가변 조명·라이트 프로브 유닛 탑재 와이드 스테이지 모델

          촬상 소자

          1인치 660만 화소 흑백 CMOS

          디스플레이

          10.4인치 LCD 모니터 (XGA: 1024 × 768)

          수광 렌즈

          더블 텔레센트릭 렌즈

          화상 측정

          시야

          광시야 측정 모드:300 × 200 mm (4모서리 R50)
          고정도 측정 모드:225 × 125 mm

          최소 표시 단위

          0.1 µm

          반복 정도

          스테이지 이동 없음

          광시야 측정 모드:±1 µm
          고정도 측정 모드:±0.5 µm

          스테이지 이동 있음

          광시야 측정 모드:±2 µm
          고정도 측정 모드:±1.5 µm

          측정 정도 ±2σ

          연결 없음

          광시야 측정 모드:±5 µm*1
          고정도 측정 모드:±2 µm*2

          연결 있음

          광시야 측정 모드:± (7 +0.02L) µm*3
          고정도 측정 모드:± (4 +0.02L) µm*4

          라이트 프로브측정

          측정 가능 영역(XY)

          190 × 90 mm

          최대 측정 깊이

          30 mm

          라이트 프로브 직경

          ø3 mm

          측정력

          0.015 N

          반복 정도

          ±2 µm*5

          측정 정도

          ±(8 + 0.02L) µm*6

          인터페이스

          LAN

          RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

          USB2.0 시리즈 A

          2포트(앞면: 2포트)

          외부 리모트 입력

          무전압 입력 (유접점/무접점)

          외부 출력

          OK/NG/FAIL/MEAS.

          PhotoMos 출력
          정격 부하: 24 VDC, 0.5A
          ON 저항: 50 mΩ 이하

          메모리

          하드디스크 드라이브

          500 GB

          조명 시스템

          투과

          텔레센트릭 투과 조명

          낙사

          4분할 멀티 앵글 조명 (전동)
          슬릿 링 (지향성) 조명 (전동)

          XY 스테이지

          이동 범위

          200 × 100 mm (전동)

          내하중

          7.5 kg

          Z 스테이지

          이동 범위

          75 mm (전동)

          전원

          전원 전압

          100 ~ 240 VAC 50/60 Hz

          소비 전류

          430 VA 이하

          내환경성

          사용 주위 온도

          +10 ~ 35℃

          사용 주위 습도

          20 ~ 80% RH (결로되지 않을 것)

          중량

          약 33 kg

          *1 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃일 때
          *2 ø20 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃일 때
          *3 280 × 180 mm (4모서리 R40) 의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량 (mm)
          *4 220 × 120 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량 (mm)
          *5 검출 방법이 표준일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±3 µm
          *6 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 +23 ±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10 + 0.02L) µm. L은 측정 길이(mm)

          측정 시스템 라이브러리

          측정 시스템