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          이미지 치수 측정 시스템IM-7000 시리즈

          IM-7500

          컨트롤러

          사양

          언어 선택

          모델

          IM-7500

          종류

          컨트롤러

          촬상 소자

          1인치 660만 화소 흑백 CMOS

          디스플레이

          10.4인치 LCD 모니터(XGA:1024×768)

          수광 렌즈

          더블 텔레센트릭 렌즈

          화상 측정

          시야

          광시야 측정 모드

          IM-7010: 200×200 mm(4모서리 R50)
          IM-7020: 200×200 mm(4모서리 R50)
          IM-7030: 300×200 mm(4모서리 R50)

          고정도 측정 모드

          IM-7010: 125×125 mm
          IM-7020: 125×125 mm
          IM-7030: 225×125 mm

          최소 표시 단위

          0.1 µm

          반복 정도

          광시야 측정 모드

          스테이지 이동 없음

          ±1 µm

          스테이지 이동 있음

          ±2 µm

          고정도 측정 모드

          스테이지 이동 없음

          ±0.5 µm

          스테이지 이동 있음

          ±1.5 µm

          측정 정도 ±2σ

          광시야 측정 모드

          연결 없음

          ±5 µm*1

          연결 있음

          IM-7010/IM-7020: ±(7+0.02L) µm*2
          IM-7030: ±(7+0.02L) µm*3

          고정도 측정 모드

          연결 없음

          ±2 µm*4

          연결 있음

          IM-7010/IM-7020: ±(4+0.02L) µm*5
          IM-7030: ±(4+0.02L) µm*6

          라이트 프로브 측정

          측정 가능 영역(XY)

          IM-7010: -
          IM-7020: 90×90 mm
          IM-7030: 190×90 mm

          최대 측정 깊이

          IM-7010: -
          IM-7020: 30 mm
          IM-7030: 30 mm

          라이트 프로브 직경

          IM-7010: -
          IM-7020: ø3 mm
          IM-7030: ø3 mm

          측정력

          IM-7010: -
          IM-7020: 0.015 N
          IM-7030: 0.015 N

          반복 정도

          IM-7010: -
          IM-7020: ±2 µm*7
          IM-7030: ±2 µm*7

          측정 정도

          IM-7010: -
          IM-7020: ±(8+0.02L) µm*8
          IM-7030: ±(8+0.02L) µm*9

          외부 리모트 입력

          무전압 입력(유접점/무접점)

          외부 출력

          OK/NG/FAIL/MEAS.

          PhotoMos 출력
          정격 부하:24 VDC, 0.5A
          ON 저항:50 mΩ 이하

          인터페이스

          LAN

          RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

          USB3.1

          4포트(뒷면: 4포트)

          USB2.0 시리즈 A

          2포트(앞면: 2포트)

          메모리

          하드 디스크 드라이브

          500 GB

          조명 시스템

          투과

          텔레센트릭 투과 조명

          낙사

          IM-7010: 4분할 링 조명
          IM-7020: 4분할 멀티 앵글 조명(전동)/슬릿 링(지향성) 조명(전동)
          IM-7030: 4분할 멀티 앵글 조명(전동)/슬릿 링(지향성) 조명(전동)

          XY 스테이지

          이동 범위

          IM-7010: 100×100 mm(전동)
          IM-7020: 100×100 mm(전동)
          IM-7030: 200×100 mm(전동)

          내하중

          IM-7010: 5 ㎏
          IM-7020: 5 ㎏
          IM-7030: 7.5 kg

          Z 스테이지

          이동 범위

          75 mm(전동)

          전원

          전원 전압

          100~240 VAC 50/60 Hz

          소비 전력

          430 VA 이하

          내환경성

          주위 온도

          +10~35℃

          사용 주위 습도

          20~80%RH(결로되지 않을 것)

          중량

          컨트롤러: 약 8 kg
          헤드: 약 30 kg (IM-7010), 약 31 kg (IM-7020), 약 33 kg (IM-7030)

          *1 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
          *2 180×180 mm(4모서리 R40)의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량(mm)
          *3 280×180 mm(4모서리 R40)의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량(mm)
          *4 ø20 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
          *5 120×120 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량(mm)
          *6 220×120 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량(mm)
          *7 검출 방법이 표준일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±3 µm
          *8 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10+0.02L) µm. L은 측정 길이(mm)
          *9 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10+0.02L) µm. L은 측정 길이(mm)

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