인라인에서 고속 전수 검사를 실현
「점」이 아닌「 면」을 이용한 측정, 샘플링 검사를 전수 검사로
1차원 변위 센서＋구동 스테이지
다점 측정을 위해서는 대상 물체를 고정도 및 고속으로 스캔해야 하는데 스테이지 이동에 시간이 걸리기 때문에 전수 검사가 어려웠습니다. 또한 시스템 구축에 많은 비용이 들어가고 장비를 구성하기 위해서는 높은 난이도를 필요로하는 것도 하나의 과제였습니다.
기존에는
- 고정도의 구동 스테이지가 필요
- 정밀한 위치 결정 제어 기구가 필요
- 별도 소프트웨어를 이용한 프로그래밍이 필요
다점 계측 플로
구동 스테이지 불필요
면으로 일괄 측정하기 때문에 고정도의 구동 스테이지는 필요 없습니다. 장비 구성이 쉬운 것은 물론 측정 시간이 크게 단축되어 전수 검사가 가능합니다.
WI-5000 시리즈라면
- 고정도의 구동 스테이지 불필요
- 정밀한 위치 결정 불필요
- 다양한 측정 기능을 올인원
다점 계측 플로
- 3D 백색 간섭 변위 센서
- WI-5000 시리즈
