오프라인에서 검사 공정 수 절감
놓기만 하면 "순간 3D" 측정, 작업자에 따른 오차도 제로
측정 현미경에 의한 검사
측정 현미경은 스테이지의 XY 이동이나 초점 조정의 상하 슬라이드를 수동으로 실시하기 때문에 검사에 많은 공정 수가 필요했습니다. 또한 작업자에 따른 측정 오차도 해결해야 할 과제 중 하나였습니다.
기존에는
- 스테이지의 XY 이동을 수동으로 실시
- 초점 조정 상하 슬라이드를 육안으로 실시
단차 계측 플로
전용 스탠드
오프라인 검사에서 사용할 수 있도록 센서 헤드를 고정시킬 수 있는 전용 스탠드가 준비되어 있습니다. 위치 보정 기능을 사용하면 번거로운 위치 조정이 필요 없고 대상 물체를 놓기만 하면 검사가 가능합니다. 검사 공정 수 절감은 물론, 작업자에 따른 오차도 없습니다.
WI-5000 시리즈라면
- 정밀한 위치 결정 불필요
단차 계측 플로
- 3D 백색 간섭 변위 센서
- WI-5000 시리즈
