3D 백색 간섭 변위 센서

최대 10×10 mm의 측정 에어리어에서 8만 점의 높이 데이터를 순식간에 취득. 백색 간섭 원리를 통해 재질·색, 사각(死角)의 영향 없이 미크론 단위의 고정도 측정을 실현합니다.

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다점 측정을 위해서는 대상 물체를 고정도 및 고속으로 스캔해야 하는데 스테이지 이동에 시간이 걸리기 때문에 전수 검사가 어려웠습니다. WI-5000 시리즈는 면으로 일괄 측정하기 때문에 측정 시간이 크게 단축되어 전수 검사가 가능합니다.

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오프라인 검사에서 사용할 수 있도록 센서 헤드를 고정시킬 수 있는 전용 스탠드가 준비되어 있습니다. 검사 공정 수를 절감할 수 있는 다양한 기능이 탑재되어 있어 간단한 측정부터 데이터 저장까지 다양한 상황에서 작업 효율을 개선할 수 있습니다.

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