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고정도로 "순간 3D" 측정

3D 변위 센서 탄생

3D 백색 간섭 변위 센서 WI-5000 시리즈

  1. 1 점도, 선도 아닌 "면"을 이용한 측정

    최대 10×10 mm의 측정 에어리어에서 8만 점의 높이 데이터를 순식간에 취득.
    백색 간섭 원리를 통해 재질·색, 사각(死角)의 영향 없이 미크론 단위의 고정도 측정을 실현합니다.

    1. 센서 헤드 바로 아래에 대상 물체를 정지시킬 수 있습니다.
      (정지 시간은 최단 0.12초)

    2. 빛을 조사하여 8만 점의 높이 데이터를 취득합니다.

    3. 높이/단차/폭/체적…etc

      취득한 높이 데이터를 이용하여 각종 치수를 측정합니다.

    측정까지 불과 0.13초

  2. 2 인라인에서 고속 전수 검사를 실현


    다점 측정을 위해서는 대상 물체를 고정도 및 고속으로 스캔해야 하는데 스테이지 이동에 시간이 걸리기 때문에
    전수 검사가 어려웠습니다.
    WI-5000 시리즈는 면으로 일괄 측정하기 때문에 측정 시간이 크게 단축되어 전수 검사가 가능합니다.

    1. 기존 1차원 변위 센서 + 구동 스테이지

      검사 시간 (대상 물체 투입, A점 측정, 이동, B점 측정, 이동, C점 측정, 이동, ..., 측정 결과 산출)

    2. WI-5000 시리즈 구동 스테이지 불필요

      검사 시간 (대상 물체 투입 시 순간 측정) / 측정 시간이 크게 단축

  3. 3 오프라인에서 검사 공정 수 대폭 절감

    오프라인 검사에서 사용할 수 있도록 센서 헤드를 고정시킬 수 있는 전용 스탠드가 준비되어 있습니다.
    검사 공정 수를 절감할 수 있는 다양한 기능이 탑재되어 있어 간단한 측정부터 데이터 저장까지 다양한 상황에서
    작업 효율을 개선할 수 있습니다.

    1. 기존 측정 현미경에 의한 검사

      검사 시간 (대상 물체 놓기, 초점 조정, 제로 점 설정, 스테이지 슬라이드, 초점 조정, 측정값 읽기)

    2. WI-5000 시리즈 전용 스탠드

      검사 시간 (대상 물체 놓기 순간 측정) / 검사 공정 수가 크게 단축

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