검색 기록
    시리즈 ( 개 항목)
      모델 ( 개 항목)
        키워드

          3D 백색 간섭 변위 센서WI-5000 시리즈

          WI-004

          센서 헤드

          사양

          언어 선택

          모델

          WI-004*1*2*3

          기준 거리

          18 mm

          측정 범위

          Z

          1.4 mm(표준 모드), 0.7 mm(고속 모드)

          XY

          4 × 4 mm

          최소 검출 에어리어

          15 × 15 µm

          반복 정도(단차)

          0.1 µm*4

          직선성(단차)

          ±2.8 µm (±0.2 % of F.S., F.S. = 1.4 mm, +20 ~ +30 °C)*5

          측정용 광원

          종류

          적외 SLD

          중심 파장

          830 nm

          레이저 등급(IEC60825-1)

          3R등급

          출력

          3.6 mW

          가이드용 광원

          종류

          적색 반도체 레이저

          파장

          660 nm

          레이저 등급(IEC60825-1)

          1등급

          출력

          0.15 mW

          샘플링 주기

          내부 트리거

          133 ms(고속 모드), 266 ms(표준 모드)

          외부 트리거

          최고 속도 266 ms(고속 모드), 최고 속도 532 ms(표준 모드)*6

          내환경성

          사용 주위 조도

          백열 램프·형광등: 5,000 lux 이하

          주위 온도

          0 ~ +35 °C

          사용 주위 습도

          20 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

          중량

          약 3,000 g

          *1 FDA(CDRH)의 Laser Notice No.50의 규정에 따라 IEC60825-1의 기준으로 등급 구분을 실시하고 있습니다.높이(헤드 기준면에서 측정 대상 물체까지의 거리) 분해능은 1 µm(*2)입니다.
          *2 당사 표준 대상 물체를 사용하여 직사각형 영역(*3) 한 곳의 평균 높이를 30초간 측정했을 경우의 ±3σ값(자동 유지 보수가 OFF일 때)
          *3 직사각형의 크기는 WI-001:0.3 × 0.9 mm, WI-004:1.1 × 3.7 mm, WI-010:3 × 9 mm
          *4 당사 표준 대상 물체를 사용하여 직사각형 영역(*3) 두 곳의 평균 단차를 30초간 측정했을 경우의 σ값(자동 유지 보수가 OFF이고 촬상 타이밍이 정도 우선일 때)
          *5 당사 표준 대상 물체를 사용하여 직사각형 영역 (*3) 두 곳의 평균 단차를 측정했을 경우의 값 (자동 유지 보수가 OFF 이고 촬상 타이밍이 정도 우선일 때)
          *6 촬상 시 대상 물체의 정지 시간은 고속 모드 120 ms, 표준 모드 240 ms입니다.

          변위 센서