재질·형상에 제약이 없는 고정도 측정 초소형 레이저 동축 변위 센서 멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서
CL-3000 시리즈

초소형·경량

업계 최소인 φ8 mm의 초소형 헤드를 라인업. 지금까지는 포기했던 좁은 장소에도 설치할 수 있으며 센서 헤드의 병렬 설치나 로봇 탑재도 간단합니다.

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곡면·함몰·높이차에 강하다

「멀티 컬러 공초점 방식」을 채택. 측정 범위가 넓고 다중 반사에도 강해 어떠한 형상·재질에서도 고정도로 측정할 수 있습니다.

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발열이나 전기 노이즈의 영향 제로

헤드 내부는 전자부품 없이 렌즈만으로 구성. 발열·노이즈에 의한 변형·광축 어긋남 등의 오차 요인의 영향은 없습니다.

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모델

글라스
필름·시트
파이프의 내경 측정
기계 가공 부품
웨이퍼
PCB
실란트·접착제