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Green LED로 고성능 실현

CMOS 모니터 카메라 탑재로 사용성 향상

고정도 CCD 마이크로미터 LS-7000시리즈

[기존 대비 2배] 고속・고정도

샘플링 주기 2400회/초, 반복 정도 ±0.06 μm

HL-CCD 방식을 채택하여 기존 대비 2배의 고속·고정도로 상시 노광 측정을 실현. 레이저 스캔 방식과는 달리 검출 누락이 없고
제품의 미세화에 따른 고정도화, 제조 시간의 단축에 따른 라인의 고속화 등에 폭넓게 대응합니다.

■ CCD 상시 노광 측정

■ CCD 상시 노광 측정

노광 시간 내의 평균값으로 측정하기 때문에 순간적인 변화도 확실하게 측정할 수 있습니다.

■ 레이저 스캔 측정

■ 레이저 스캔 측정

레이저 스캔의 궤적에서 벗어난 변화는 검출할 수 없습니다.

[동급 최고] 높은 내구성

구동부가 없는 CCD&긴 수명의 LED

측정 원리를 처음부터 재검토했습니다. Green LED와 HL-CCD를 채택하여 레이저 스캔 방식의 약점이었던 모터의 내구성 문제를 극복했습니다. 또한 수명이 긴 LED를 채택하여 오랜 시간 동안 유지되는 신뢰성을 실현했습니다.

HL-CCD

HL-CCD

Green LED

Green LED

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