마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
SI-F 시리즈
- 세계 최초, 초소형・고정도 마이크로 헤드
- 다양한 종류의 헤드
- 분광 간섭 방식의 원리1
- 분광 간섭 방식의 원리2
- 인텔리전트 컨트롤러
- 다양한 인터페이스
- 소프트웨어
세계 최초, 초소형・고정도 마이크로 헤드
세계 최소 마이크로 헤드 사이즈
SI-F01
주요 사양
동급 최고 분해능：1 nm
간섭계의 원리를 응용하여 고정도 측정을 추구한 전용 모드를 준비했습니다. 나노 레벨의 한 차원 높은 고정도 측정 요구에 대응합니다.
간섭계 모드
평균 횟수 1회, 대표 예
- 분해능
-
- 직선성
-
발열 제로, 노이즈 제로
화이버 헤드 구조의 장점
측정 헤드를 "화이버+렌즈"만으로 구성하고 전자 부품을 모두 없엤습니다.
- 세계 최초, 초소형・고정도 마이크로 헤드
- 다양한 종류의 헤드
- 분광 간섭 방식의 원리1
- 분광 간섭 방식의 원리2
- 인텔리전트 컨트롤러
- 다양한 인터페이스
- 소프트웨어
고객 지원 서비스
