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          3. 분광 간섭 레이저 변위계
          4. 마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
          5. 특징

          마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

          SI-F 시리즈

          세계 최초, 초소형・고정도 마이크로 헤드

          세계 최소 마이크로 헤드 사이즈

          SI-F01

          SI-F01

          주요 사양

          주요 사양

          동급 최고 분해능:1 nm

          간섭계의 원리를 응용하여 고정도 측정을 추구한 전용 모드를 준비했습니다. 나노 레벨의 한 차원 높은 고정도 측정 요구에 대응합니다.

          간섭계 모드
          평균 횟수 1회, 대표 예

          분해능

          분해능

          직선성

          직선성

          발열 제로, 노이즈 제로

          화이버 헤드 구조의 장점

          측정 헤드를 "화이버+렌즈"만으로 구성하고 전자 부품을 모두 없엤습니다.

          발열 제로, 노이즈 제로

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          변위 센서