마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
SI-F 시리즈
마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서 SI-F 시리즈
마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
- 동급 최고 분해능：1 nm
- 세계 최소 마이크로 헤드 사이즈：Ø2 mm
- 업계 최초의 측정 원리：분광 간섭 방식
특징
동급 최고 분해능：1 nm
분광 간섭 방식으로 1 nm의 분해능을 실현했습니다.
측정 용도를 넓히는 다양한 종류의 헤드
초소형·장거리 등 다양한 용도에 대응하는 전용 헤드가 준비되어 있습니다.
측정 오차의 요인을 제거했습니다
측정 헤드를 “화이버+렌즈”만으로 구성하고 전자 부품을 모두 배제했습니다.