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          마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

          SI-F 시리즈

          분광 간섭 방식의 원리2

          「빛의 파장 각각에 대해 간섭파의 진폭 크기를 알면 대상 물체까지의 거리가 구해진다」

          아래 그림과 같이 파장이 서서히 길어지면 일정 거리에 놓인 대상 물체의 간섭광 진폭이 변합니다. 이로써 2가지 사실을 알 수 있습니다.
          (1) 「센서 헤드 전면~대상 물체 간의 왕복 거리=파장×정수」가 성립될 때 간섭광의 진폭은 최대가 된다.
          (2) 진폭이 최대가 되는 간섭광의 파장은 1개가 아닌 여러 개이다.
          또한 대상 물체까지의 거리가 약간 바뀌면 그 때까지 진폭이 최대였던 파장의 진폭이 최대가 되지 않고, 다른 파장의 진폭이 최대가 된다. 이처럼 대상 물체까지의 거리에 따라 진폭이 최대가 되는 간섭광의 파장 그룹이 변한다. 분광 간섭 방식에서는 대상 물체까지의 거리는 이러한 규칙에 따라 산출됩니다.

          「빛의 파장 각각에 대해 간섭파의 진폭 크기를 알면 대상 물체까지의 거리가 구해진다」

          「간섭광은 분광기에 의해 파장마다 세밀하게 분광되어 CCD의 수광 파형을 형성」

          화이버를 통과해 분광 유닛으로 되돌아 온 간섭광은 여러 파장의 빛이 다양한 진폭으로 서로 섞인 상태입니다. 따라서 정확한 파장을 분석하기 위해 우선 파장별로 분광해야 합니다. 회절 격자에는 광 강도의 스펙트럼에 의해 반사광의 방향을 바꾸는 특성이 있습니다. 이러한 특성을 이용하여 간섭광은 파장별로 세밀하게 분광됩니다. 회절 격자를 사용하여 분광된 각각의 파장 빛은 CCD 픽셀로 수광됩니다. CCD의 수광 파형에서 가로 축이 파장, 세로 축이 광 강도의 광 강도 스펙트럼 분포를 얻을 수 있습니다. 파형을 해석하면 진폭이 최대가 되는 파형이 모두 검출됩니다. 변위 데이터는 검출된 파장의 그룹에서 산출됩니다.

          「간섭광은 분광기에 의해 파장마다 세밀하게 분광되어 CCD의 수광 파형을 형성」

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