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          마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

          SI-F 시리즈

          기능

          세계 최초의 마이크로 헤드, 동급 최고의 측정 정도, 기존에는 생각할 수 없었던 고성능을 실현했습니다.

            • 동급 최고 분해능:1 nm
            • 세계 최소 마이크로 헤드 사이즈:Ø2 mm
            • 업계 최초의 측정 원리:분광 간섭 방식
            • 6헤드 접속・동시 제어
            • 멀티 연산 기능
            • 컨트롤러는 6종류의 I/O를 표준 탑재
            • 간단 설정/데이터 수집 전용 PC 소프트웨어

          변위 센서