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          마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서SI-F 시리즈

          SI-F10U

          분광 유닛

          사양

          언어 선택

          모델

          SI-F10U

          종류

          장거리 타입 분광 유닛

          측정 범위

          11.3~12.35 mm *1

          측정용 광원

          적외 SLD 중심 파장 820nm 최대 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1)

          스폿 직경

          ø40µm *2

          직선성

          ±0.3µm *3

          분해능

          0.001 µm*4

          샘플링 주기

          200µs

          가이드용 광원

          적색 LD 650nm 최대 0.1mW 1등급 (JIS C6802)

          LED 표시

          측정 중심 부근:녹색 점등 측정 범위 안:주황색 점등 측정 범위 밖:주황색 점멸

          온도 특성

          0.01% of F.S.

          내환경성

          보호 구조

          사용 주위 조도

          백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하

          주위 온도

          0 ~ +35 °C

          사용 주위 습도

          35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것)

          내진동

          10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간

          재질

          폴리카보네이트

          중량

          약 1 kg

          *1 센서 헤드 전면으로부터의 거리를 나타내고 있습니다. 또한 장거리 타입은 센서 헤드 전면으로부터의 거리에 따라 최대 ±0.2mm의 개체차가 있습니다.
          *2 측정 범위 내에서의 최소 스폿 직경을 나타냅니다.
          *3 측정 대상은 글라스 표면이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정한 경우의 값
          *4 측정 대상은 글라스 표면이며, 측정 범위 중심에서 평균 횟수 4096회로 설정하여 측정한 경우의 값

          변위 센서