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          3. 분광 간섭 레이저 변위계
          4. 마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
          5. 시스템 구성

          마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

          SI-F 시리즈

          시스템 구성도

          시스템 구성도

          구성 기기 목록

          센서 헤드부
          마이크로 헤드 타입
          SI-F01

          SI-F01


          장거리 타입
          SI-F10

          SI-F10


          두께 측정 타입
          SI-F80

          SI-F80


          분광 유닛
          SI-F01U/SI-F10U/SI-F80U

          SI-F01U/SI-F10U/SI-F80U

          (1개의 센서 헤드에 1개 컨트롤러 필요)

          선택 사양 제품
          마이크로 헤드용 설치 브래킷
          OP-84480

          OP-84480

          컨트롤러부
          컨트롤러(표시 탑재형)
          SI-F1001V

          SI-F1001V


          컨트롤러(표시 분리형)
          SI-F1001

          SI-F1001


          증설 컨트롤러
          SI-FA100

          SI-FA100


          분광 유닛・컨트롤러 연결 지그
          OP-84474

          OP-84474

          (분광 유닛에 부속)

          표시부
          표시 패널
          SI-FD500

          SI-FD500

          케이블부
          접속 케이블
          CB-A07/CB-A2/CB-A5/CB-A10/CB-A20/CB-A30

          CB-A07/CB-A2/CB-A5/CB-A10/CB-A20/CB-A30


          연장 케이블
          CB-A5E/CB-A10E

          CB-A5E/CB-A10E

          표시-컨트롤러 간 케이블
          0.33 m:OP-84427
          3 m:OP-51655
          10 m:OP-51656

          소프트웨어
          전용 PC 소프트웨어
          “SI-Navigator”

          SI-H1

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          변위 센서