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          분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기

          SI-F80R 시리즈

          웨이퍼 두께만 정확하게 측정할 수 있다

          Si를 비롯하여 GaAs, SiC, InP, a-Si 등의 반도체를 투과할 수 있는 근적외 SLD를 채택. BG(백 그라인드) 테이프가 부착된 상태라도 웨이퍼의 두께만 정확하게 측정할 수 있습니다.

          SI-F80R

          웨이퍼 두께만 정확하게 측정할 수 있다

          동급 최고 사양

          동급 최고 사양

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