분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기
SI-F80R 시리즈
- 웨이퍼 두께만 정확하게 측정할 수 있다
- 패턴의 영향을 잘 받지 않는다
- 기존의 문제점을 모두 해결
패턴의 영향을 잘 받지 않는다
스폿 직경을 작게 하고 스폿 내의 표면 단차를 적게 하여 웨이퍼 표면의 패턴에 따른 편차, 측정 에러 요인을 최소한으로 억제할 수 있었습니다.
- 웨이퍼 두께만 정확하게 측정할 수 있다
- 패턴의 영향을 잘 받지 않는다
- 기존의 문제점을 모두 해결
고객 지원 서비스
SI-F80R 시리즈
스폿 직경을 작게 하고 스폿 내의 표면 단차를 적게 하여 웨이퍼 표면의 패턴에 따른 편차, 측정 에러 요인을 최소한으로 억제할 수 있었습니다.
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