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SI-F80R 시리즈
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스폿 직경을 작게 하고 스폿 내의 표면 단차를 적게 하여 웨이퍼 표면의 패턴에 따른 편차, 측정 에러 요인을 최소한으로 억제할 수 있었습니다.
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