분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기

[기존의 방법]
접촉식으로 측정

• 측정 시 웨이퍼가 깨질 우려가 있었습니다.
• BG 테이프를 포함한 높이를 측정하기 때문에 테이프 두께가 바뀌면 그만큼 오차로 되었습니다.

센서 2대를 사이에 두고 비접촉으로 측정

• 센서 2대의 광축을 일직선 상에 맞추기가 힘들었습니다.
• BG 테이프를 포함한 두께를 측정하기 때문에 테이프 두께가 바뀌면 그것이 전체 오차에 반영되었습니다.

라인 옆에서 간단하고 정확하게 측정

• 80mm 거리에서 간단하게 측정할 수 있습니다.
• 비접촉이므로 웨이퍼가 손상되지 않습니다.
• 웨이퍼의 두께만 직접 측정할 수 있으므로 BG 테이프 두께의 영향을 받지 않습니다.

라인에서 항상 모니터링

• 헤드가 작고 80mm 거리에서 설치할 수 있기 때문에 장치 내에서 웨이퍼 두께를 항상 측정하면서 연마할 수 있습니다.