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          분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기

          SI-F80R 시리즈

          기능

          근적외 SLD를 채택하여 BG(백 그라인드) 테이프가 부착된 상태라도 웨이퍼의 두께만 정확하게 측정. 웨이퍼 표면의 패턴에 따른 편차가 있어도 인라인으로 정확하게 측정할 수 있습니다.

            • 백 그라인드 테이프가 부착된 상태라도 웨이퍼의 두께를 정확하게 측정
            • 패턴의 영향을 잘 받지 않는다.
            • 인라인 측정 가능
            • 웨이퍼 전체의 두께 분포를 자동으로 매핑

          변위 센서