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          분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기SI-F80R 시리즈

          SI-F80R

          센서 헤드 웨이퍼 두께 측정 타입

          사양

          언어 선택

          모델

          SI-F80R

          종류

          웨이퍼 두께 측정 타입

          측정 범위

          10 ~ 310 µm (n = 3.5 일 때)*1

          검출 가능 거리

          80~81.1 mm

          측정용 광원

          적외 SLD 출력 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1)

          스폿 직경

          ø25µm *2

          직선성

          ±0.1µm (n=3.5일 때) *3

          분해능

          0.001µm *4

          샘플링 주기

          200µs

          LED 표시

          측정 중심 부근 : 녹색 점등/측정 범위 내 : 주황색 점등/측정 범위 외 : 주황색 점멸

          온도 특성

          내환경성

          보호 구조

          IP64

          사용 주위 조도

          백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하

          주위 온도

          0 ~ +50 °C

          사용 주위 습도

          35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

          내진동

          10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간

          재질

          SUS

          중량

          약 70g (케이블 포함)

          *1 굴절률 n = 3.5 일 때의 두께 측정 범위를 나타낸 것입니다. (굴절률 n = 1 일 때의 두께 측정 범위는 35 ~ 1,100 µm 입니다.)
          *2 측정 범위 내에서의 최소 스폿 직경을 나타냅니다.
          *3 측정 대상은 글라스 판 2장의 틈새 두께이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정하고 굴절률 n=3.5로 환산한 값
          *4 측정 대상은 t=0.3의 글라스 두께이며 검출 가능 거리 내에서 평균 횟수 4096회로 설정하여 측정한 경우의 값

          변위 센서