분광 유닛 SI-F80RU

SI-F80RU - 분광 유닛

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

사양

모델		SI-F80RU
종류		웨이퍼 두께 측정 타입 분광 유닛
측정 범위		10 ~ 310 µm (n = 3.5 일 때)^*1
검출 가능 거리		80~81.1 mm
측정용 광원		적외 SLD 출력 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1)
스폿 직경		ø25µm ^*2
직선성		±0.1µm (n=3.5일 때) ^*3
분해능		0.001µm ^*4
샘플링 주기		200µs
LED 표시		측정 중심 부근 : 녹색 점등/측정 범위 내 : 주황색 점등/측정 범위 외 : 주황색 점멸
온도 특성		0.01% of F.S./°C
내환경성	보호 구조	―
	사용 주위 조도	백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하
	사용 주위 온도	0 ~ +35 °C
	사용 주위 습도	35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것)
	내진동	10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간
재질		본체·커버 : 폴리카보네이트
중량		약 1.2 kg
^1 굴절률 n = 3.5 일 때의 두께 측정 범위를 나타낸 것입니다. (굴절률 n = 1 일 때의 두께 측정 범위는 35 ~ 1,100 µm 입니다.) ^2 측정 범위 내에서의 최소 스폿 직경을 나타냅니다. ^3 측정 대상은 글라스 판 2장의 틈새 두께이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정하고 굴절률 n=3.5로 환산한 값 ^4 측정 대상은 t=0.3의 글라스 두께이며 검출 가능 거리 내에서 평균 횟수 4096회로 설정하여 측정한 경우의 값