1. 제품군
  2. 변위 센서
  3. 분광 간섭 레이저 변위계
  4. 분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기
  5. 원리

분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기

SI-F80R 시리즈

측정 원리

분광 유닛

분광 유닛

SLD

SLD(=Super Luminescent Diode)에서 나온 광파장 대역의 적외광은 편파 유지 화이버를 통과하여 센서 헤드를 빠져나와 웨이퍼 표면에 조사됩니다. 따라서 빛의 일부가 반사되고 나머지 일부는 웨이퍼를 투과하여 뒷면에서 반사됩니다.

광 간섭

2개 반사광은 파장별로 서로 간섭하고 분광 유닛으로 되돌아옵니다. 간섭광의 크기는 참조면에서 대상 물체까지의 거리에 따라 결정되며, 정확하게 파장의 정수 배일 때 극대값이 됩니다.

분광 해석

간섭광은 분광기에 의해 파장별로 세밀하게 분광되어 CCD의 분광 파형에서 광 강도 스펙트럼 분포를 얻을 수 있습니다. 또한 FFT 처리 등의 파형 해석을 실시하여 웨이퍼 두께를 산출합니다.

변위 센서