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          4. 형상 측정 레이저 마이크로스코프
          5. 특징

          형상 측정 레이저 마이크로스코프

          VK-X 시리즈

          • 문제 해결

          문제 해결

          기존 장비에서 자주 접하는 문제점

          레이저 마이크로스코프라면 모든 과제를 해결

          광학 현미경

          광학 현미경

          배율을 높이면 초점이 맞지 않아 해상도가 떨어진다.

          SEM

          SEM

          샘플 사이즈가 제한되고 복잡한 전처리 과정을 거쳐야 하며 흑백으로 밖에 관찰할 수 없다.

          거칠기 측정기

          거칠기 측정기

          확대 관찰을 하면서 측정할 수 없으므로 원하는 부분의 요철을 측정하지 못한다.

          레이저 마이크로스코프라면 이 모든 것을 손쉽게 해결

          광학 현미경

          해상도, 배율에 한계가 있다

          해상도, 배율에 한계가 있다

          디스크 피트(6000x)

          피사계심도가 얕다

          피사계심도가 얕다

          칼 끝(1000x)

          트레이서빌리티 비대응

          트레이서빌리티 비대응

          고해상도 '16bit 레이저' 관찰

          최고 24000배의 고해상도

          최고 24000배의 고해상도

          디스크 피트(6000x)

          모든 부분에 초점이 맞은 화상

          모든 부분에 초점이 맞은 화상

          칼 끝(1000x)

          트레이서빌리티 대응

          트레이서빌리티 대응

          국가 표준으로 이어지는 트레이서빌리티 체계에 준거한 신뢰성 높은 계측이 가능합니다.

          SEM

          흑백이어서 색을 판단할 수 없다

          흑백이어서 색을 판단할 수 없다

          잉크토너(1000x)

          전처리나 관찰에 시간이 걸린다

          전처리나 관찰에 시간이 걸린다

          샘플 사이즈에 제한이 있다

          전처리나 관찰에 시간이 걸린다

          샘플 사이즈에 따라서는 시료대 위에 놓을 수 없거나 시료실에 들어가지 않아서 관찰을 할 수 없는 경우도 있습니다.

          마치 컬러 SEM처럼

          16bit 레이저 컬러 관찰

          16bit 레이저 컬러 관찰

          잉크토너(1000x)

          올려놓고 바로 측정, 분석까지 수십 초

          올려놓고 바로 측정, 분석까지 수십 초

          샘플에 제한이 없다

          샘플에 제한이 없다

          대기 중에서 관찰 가능, 헤드부를 분리하여 장비에 장착할 수 있기 때문에 모든 샘플 사이즈에 대응 가능하며, 외부로부터의 원격 제어도 가능.

          조도 측정기

          접촉식이어서 샘플에 흠집이 생긴다

          접촉식이어서 샘플에 흠집이 생긴다

          알루미늄 표면(200x): 화면에 수평으로 압흔이 들어있습니다

          측정하고자 하는 부분에 맞추기가 어렵다

          측정하고자 하는 부분에 맞추기가 어렵다

          나사산의 정점 등 측정하고 싶은 부분에 촉침을 제대로 가져가기 어려운 경우가 있습니다.

          촉침 끝의 직경이 분해능의 한계

          촉침 끝의 직경이 분해능의 한계

          거칠기 측정기의 촉침 끝 직경보다 작은 형상은 측정할 수 없습니다.

          원하는 부분을 비파괴 상태로 형상 측정

          • 문제 해결

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          마이크로스코프 / 3D 형상 측정기