백색 간섭계 탑재 레이저 현미경

VK-X3000 시리즈

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백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 VK-X3000 시리즈

백색 간섭계가 탑재되어 나노 형상부터 밀리 형상까지 해석

레이저 마이크로스코프의 한계를 트리플 스캔 방식으로 해결

  • 나노·마이크로·밀리를 1대로 측정 가능
  • 알고 싶은 것을 이 1대로 모두 해결
  • 최고 분해능 0.01 nm

VK-X3000 시리즈 - 백색 간섭계 탑재 레이저 현미경

백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 「VK-X3000 시리즈」는 레이저 공초점·백색 간섭·포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 구분해서 사용하는 「트리플 스캔 방식」을 채택하여 다양한 대상 물체를 고정도로 측정·분석할 수 있습니다. 최고 분해능 0.01 nm 실현을 통해 나노 레벨의 미세한 형상 변화도 정확하게 측정할 수 있습니다. 최대 스캔 에어리어가 50 mm×50 mm이므로 큰 요철이나 손바닥 사이즈인 대상 물체도 통째로 스캔할 수 있으므로 전체 형상도 부분 형상도 모두 파악할 수 있습니다. 또한, 경면체·투명체와 같은 난이도가 높은 소재도 고속·고정도로 광범위하게 측정합니다. 고배율/저배율, 평면/요철/표면 거칠기, 경면/투명 등 대상 물체에 제한이 없는 완전히 새로운 레이저 현미경입니다.

특징

레이저 마이크로스코프의 기본 특징

관찰

광학 현미경에서 SEM까지의 영역을 1대로 해결한다.

  • 42~28800배
  • 초점 조정 불필요
  • 샘플에 제한이 없다

측정

비접촉으로 순식간에 형상을 스캔한다.

  • 대상 물체를 손상시키지 않는다
  • 나노 단위도 정확하게 측정
  • 투명체나 각도가 가파른 대상 물체도 측정

분석

궁금했던 표면의 “차이”가 보인다.

  • 미세한 형상을 정량화
  • 여러 샘플의 비교가 간단
  • 거칠기 분석

트리플 스캔 방식으로 「측정 불가 상태」를 해결

백색 간섭 / 레이저 공초점 / 포커스 바리에이션

대상 물체의 소재나 형상·측정 범위에 맞춰 레이저 공초점·백색 간섭·포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 선택하여 고정도로 측정할 수 있습니다.

최고 분해능 0.01 nm

나노 레벨의 미세한 형상 변화도 정확하게 측정할 수 있습니다.
또한, 경면체·투명체와 같은 난이도가 높은 소재도 고속·고정도로 광범위하게 측정합니다.

단차가 큰 요철이나 광범위한 측정도

최대 스캔 에어리어 50 mm×50 mm.
큰 요철이나 손바닥 사이즈도 통째로 스캔하여 전체 형상도 부분 형상도 모두 파악할 수 있습니다.

고배율에서도, 저배율에서도. 평평하거나 요철이 있어도.

대상 물체에 제한이 없는 측정 대응력