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          디지털 초음파 센서

          FW 시리즈

          반도체/전자/전기 업계

          모든 애플리케이션에서 타의 추종을 불허하는 초음파 센서 성능.

          세정 공정 시의 웨이퍼 검출

          세정 공정 시의 웨이퍼 검출

          슬라이싱 공정 직후 증기가 가득한 환경에서도 물방울이 맺힌 웨이퍼를 확실하게 검출할 수 있습니다.

          반송 공정의 슬릿 기판 검출

          반송 공정의 슬릿 기판 검출

          기존의 광 센서는 기판의 색상 및 슬릿으로 인해 출력이
          불안정하고 채터링이 발생했습니다. FW시리즈는 색상 및 작은 슬릿에 의한 영향 없이 확실한 검출이 가능합니다.

          후프재 텐션 컨트롤

          후프재 텐션 컨트롤

          투명하거나 표면이 불규칙한 경우, 광 센서를 이용한 검출이 어려웠습니다. FW시리즈는 요철에 의한 영향 없이 확실한 검출이 가능합니다. 또한 2가지 출력으로 상한값과 하한값을 개별 출력할 수 있습니다.

          한 각도에서 웨이퍼 검출

          한 각도에서 웨이퍼 검출

          얇은 웨이퍼와 배경 사이의 미세한 높이 차이로 인하여 검출이 어려웠습니다. FW시리즈는 비스듬한 각도에서도 초음파를 사용, 에지 부분에 대한 약간의 반사만으로도 확실한 검출이 가능합니다.

          카세트 내부 웨이퍼 검출

          카세트 내부 웨이퍼 검출

          FW시리즈는 남아있는 웨이퍼를 검출할 수 있습니다. 웨이퍼의 표면 막에서 빛을 흡수하므로 반사형 센서를 이용한 검출이 어려웠습니다. FW시리즈는 표면의 필름이나 광택이 있는 배경에 의해 영향을 받지 않습니다.

          세정액의 액면 레벨 제어

          세정액의 액면 레벨 제어

          FW시리즈는 액면 레벨 제어 시 사용됩니다. 두 가지 출력을 사용하여 상한값과 하한값을 개별적으로 출력할 수 있습니다. 또한, 특수 액면 레벨 검출 모드는 간편한 설정으로 다양한 제어가 가능합니다.

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