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측정기 센서 선정

형상·프로파일

대상 물체의 형상을 측정합니다. 「점」으로 측정하는 1차원 레이저 변위 센서를 통한 스캔 방식 외에 「면」으로 형상을 포착하여 단면 형상을 추출하는 3D 레이저 변위 센서도 제안할 수 있습니다. 대상 물체의 상태 및 크기에 따라 적용 방식을 선택할 있습니다. 자세한 내용에 대해서는 가까운 영업소에 문의해주십시오.

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스폿 직경 φ3.5 μm정도로 작은 초소형 스폿으로 스캔하여 고정도 측정을 실현합니다.

블루 레이저를 최대폭 720 mm로 조사하여 트레드의 형상을 측정합니다. 여러 대의 헤드로 타이어 전면을 측정할 수 있습니다.

경면에서도 측정 영역정 에이리어의 일괄 측정이 가능하기 때문에 사용자에 따른 오차 없이 검사 시간을 단축할 수 있습니다.

의료용 벌룬의 형상을 고속으로 연속 측정할 수 있습니다. 각 포인트의 치수 를 실시간으로 측정합니다.

권취 공정 후 권취 불량 유무를 검사합니다. LJ-X8000 시리즈는 최소 2.5 μm의 X축 분해능으로 전극 하나하나의 형상을 정확하게 측정할 수 있습니다.

적층 전의 전극 절단 위치를 장비에 피드백합니다. 도포재 가장 자리의 형상을 정확하게 포착하여 에지의 위치를 고정도로 검사할 수 있습니다.

웨이퍼 가장자리의 형상을 측정합니다. 단차·폭, 각도 등 계측 툴을 선택하기만 하면 간단하게 측정할 수 있습니다. 또한 3200 point/Profile의 초고해상도 촬상이 기존에는 어려웠던 고정도 형상 측정을 실현합니다.