형상·프로파일
블루 레이저를 최대폭 720 mm로 조사하여 트레드의 형상을 측정합니다. 여러 대의 헤드로 타이어 전면을 측정할 수 있습니다.
경면에서도 측정 영역정 에이리어의 일괄 측정이 가능하기 때문에 사용자에 따른 오차 없이 검사 시간을 단축할 수 있습니다.
권취 공정 후 권취 불량 유무를 검사합니다. LJ-X8000 시리즈는 최소 2.5 μm의 X축 분해능으로 전극 하나하나의 형상을 정확하게 측정할 수 있습니다.
적층 전의 전극 절단 위치를 장비에 피드백합니다. 도포재 가장 자리의 형상을 정확하게 포착하여 에지의 위치를 고정도로 검사할 수 있습니다.
웨이퍼 가장자리의 형상을 측정합니다. 단차·폭, 각도 등 계측 툴을 선택하기만 하면 간단하게 측정할 수 있습니다. 또한 3200 point/Profile의 초고해상도 촬상이 기존에는 어려웠던 고정도 형상 측정을 실현합니다.
블루 레이저를 최대 폭 720 mm로 조사하여 필름의 굴곡·주름을 측정합니다. CMOS의 다이내믹 레인지가 넓어 투명체도 측정할 수 있습니다.
