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변위 센서

2D 형상 / 3D 형상

여기에 소개된 측정기는 대상 물체의 형상을 측정합니다. 스폿형 반사형 센서를 사용하여 대상 물체를 스캔함으로써 2D 형상을 측정하거나 라인 타입 레이저를 사용하여 대상 물체의 형상을 직접적으로 측정합니다. 이 경우 대상 물체의 상태 및 크기에 따라 적용 방식을 선택할 있습니다. 자세한 내용에 대해서는 가까운 영업소에 문의해주십시오.

공초점 반사 방식
CL 시리즈
CL 시리즈

스폿형 레이저를 사용하여 대상 물체를 스캔함으로써 프로파일 측정을 실시할 수 있습니다. 재질이나 색상과 관계없이 대상 물체를 측정할 수 있습니다.
소형·경량·동축 측정이므로 로봇·XY스테이지에 간단히 설치 가능.

선택 포인트

  • 다양한 재질·색의 대상 물체를 비접촉으로 고정도 측정
  • 초소형·경량으로 간단히 설치 가능
  • 넓은 측정 범위, 영역 전체에서 고정도
CL-3000 시리즈
멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서
CL-3000 시리즈
2D 삼각 측정 방식
LJ 시리즈
LJ 시리즈

라인 타입 레이저를 사용하여 대상 물체의 횡단면 형상을 순간적으로 측정합니다. 높이와 폭, 횡단면적을 측정하기 위한 다양한 측정모드가 탑재되어 있습니다. 파형 데이터를 결합하여 3D 형상을 구한 후 검사가 실시됩니다.

선택 포인트

  • 라인 선상에 있는 대상 물체의 2D 높이 측정 가능
  • 초고속으로 제한없이 대상 물체 선택
  • 파형 데이터 출력 가능
LJ-V 시리즈
초고속 인라인 프로파일 측정기
LJ-V 시리즈
공초점 반사 방식
CL 시리즈
CL 시리즈

최소 φ3.5 μm 크기의 레이저 스폿 덕분에 공초점 프로파일 측정이 가능합니다.

선택 포인트

  • φ3.5 μm 정도로 작은 초소형 스폿
  • 단차 또는 불규칙 표면에 대해 사각(dead angle) 없음
  • 비접촉으로 고정도 측정을 실현
CL-3000 시리즈
멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서
CL-3000 시리즈