반도체·액정

웨이퍼 테스트 환경에서 확실하게 제전합니다. 대상 물체 부근에 피드백 센서를설치하면 대상 에어리어의 제전 환경을 항상 모니터링할 수 있습니다.

넓은 범위를 고속으로 제전할 수 있습니다. 박리 대전을 목표값 이하로 제전한결과를 기록하기 때문에 만일의 경우에도 프로세스를 추적할 수 있습니다.

다이를 박리할 때 발생한 정전기가 방전되기 전에 고속으로 제전할 수 있습니다. 기존에 반드시 필요했던 유지 보수 공정도 절감할 수 있습니다.

등급 최고의 이온 밸런스 ±1 V로 각종 IC에 대해 안심하고 사용하실 수 있습니다.과거의 제전 환경도 확인할 수 있으며 필요할 때 영향 기간을 특정할 수도 있습니다.

무풍 타입과 에너지 절약 타입으로 공장의 에어 소비량을 최소화하면서 높은 제전 효과를 기대할 수 있습니다.

클린 룸으로 이물질이 유입될 가능성이 높은 에어 샤워 룸에 이오나이저를 설치함으로써 제전 효과를 높일 수 있습니다.