정전 파괴 대책 사례

작업 공간의 제전

셀 공정은 작업상 반드시 정전기가 발생합니다. 어스 대책이나 도전화 등을 실시해도 부품 박리 시의 대전 또는 중공 작업 시 등에는 이러한 대책만으로는 효과가 부족합니다. 제전기를 이용하면 정전기 대책 효과가 향상됩니다.

기판 반송 시의 ESD, ESA 방지

반송부에서는 기판과 컨베이어의 접촉·박리로 인해 기판이 대전됩니다. 큰 대전은 이물질 부착이나 정전 파괴를 일으켜 제조 불량으로 이어집니다. 제전기를 이용하면 대전이 제거되어 제조 불량이 감소합니다.

기판 검사기의 정전 파괴 방지

전도 체크 시 프로브와 기판 사이에 이물질이 부착되어 있으면 전도 불량으로 판단되어 재검사를 합니다. 이로 인해 수율이 크게 악화됩니다. 또한 미세 프로브인 경우 정전 파괴가 발생할 가능성도 있습니다. 제전기를 이용하면 이러한 문제가 해결됩니다.