측정기의 종류와 특징

거칠기 측정기

개요

「표면 거칠기 측정기」라고도 하며 대상 물체 표면의 평활도(요철의 정도)를 측정하는 장치입니다.주로 촉침식과 레이저식이 있습니다.기존에는 다이아몬드 촉침을 이용한 기종이 일반적이었지만 반도체 등의 표면을 측정할 때 손상될 우려가 있어 광학 타입의 측정기가 보급되고 있습니다.평면뿐 아니라 곡면 측정이 가능한 기종이 있으며, 최근에는 표면의 측정 데이터를 바탕으로 형상을 3D 화상으로 표시할 수 있는 것도 있습니다.
용도로는 금속 표면의 마모 상황이나 절삭면의 상황 확인, 도장 시 마감 상태 확인 등이 있습니다.전자 부품의 박막 가공이 진행되는 가운데 나노미터 단위로 측정 가능한 것도 있습니다.

구조와 용도

거칠기 측정기의 구조와 용도
A
상하 스탠드
B
구동부
C
스타일러스(검출기)
D
테이블
  • 촉침식의 경우, 선단 반경이 2 µm인 것을 사용하는 경우가 일반적입니다.단, 정밀 가공품에 따라서는 0.1~0.5 µm 등급의 사용을 검토합니다.이용하는 촉침에 따라 측정값에 편차가 생길 수 있으므로 사전에 반드시 확인해야 합니다.

거칠기 측정기의 주요 사용법

  1. 접촉식의 경우, 촉침이 대상 물체의 표면을 스캔하며 표면 거칠기를 측정합니다.레이저에 의한 비접촉식은 대상 물체에 레이저를 조사하여 반사된 빛을 검출함으로써 거칠기를 측정합니다.
  2. 측정 시에는 측정 방향에 주의해야 합니다.예를 들면 금속 가공품의 경우, 요철의 특징을 더 확실하게 파악하기 위해 기본적으로 가공 방향에 대해 직각으로 측정합니다.
  3. 정확한 측정을 위해서는 측정 속도의 결정이 중요합니다.우선 낮은 속도부터 시험해보고 측정값이 어긋나지 않는 범위에서 실시합니다.

취급상의 주의점

  • 올바른 측정을 위해서는 정기적인 교정이 필요합니다.