측정 시스템
올인원 자동 광학 측정 시스템.
라인업
대상 물체를 고해상도로 포착할 수 있는 이미지 치수 측정 시스템 IM-8000 시리즈는 간단한 조작은 그대로 유지하면서 검출 성능을 기존 대비 3배로 향상시켰습니다. 2000만 화소 CMOS와 안정적으로 에지를 검출할 수 있는 새로운 알고리즘을 채택하여 불과 몇 초만에 최대 300포인트의 고정도 측정이 완료됩니다. 또한 새로 개발된 「회전 유닛」을 활용할 경우, 다양한 사이즈∙형상의 대상 물체를 수평을 유지한 채로 자동으로 회전시켜 360° 다면을 안정적으로 일괄 측정할 수 있습니다. 측정 버튼을 누르기만 하면 OK인 간단한 조작이므로 작업자에 따른 측정값 편차가 발생하지 않아 측정 공정 수가 압도적으로 줄어듭니다. 신속·정확·간단한 측정으로 측정 업무의 과제를 해결합니다.
±0.1μm의 측정이 가능한 고정도 이미지 치수 측정기 LM시리즈는 간단한 조작만으로도 사람에 의한 편차 없이, 고정밀도로 빠르게 측정할 수 있습니다. 에지 판별이나 초점 맞추기를 완전 자동화함으로써 사람에 의한 측정값의 편차를 해소했습니다. 또한 스테이지 카메라와 맵 내비게이션 기능을 통해 언제라도 대상물 전체를 부감하여 확인할 수 있으므로 대상 물체의 측정 위치를 놓치지 않습니다. 누구나 알기 쉬운 메뉴와 상세한 도움말 기능으로 인해 설정이 간단하며, 대상 물체의 위치 결정이나 원점 추출 등의 작업이 불필요하기 때문에 신속하게 측정할 수 있습니다. 측정하는 사람의 경험이나 기술, 지식을 불문하고, 단시간에 더 많은 대상 물체를 고정밀도로 측정할 수 있습니다.
대상 물체를 스테이지에 놓고 버튼을 누르기만 하면 되는 간단한 조작으로 ±0.1 µm의 고정도 측정을 실현합니다. 고정도 화상 측정·멀티 컬러 레이저에 의한 비접촉 높이 측정·3D 터치 프로브에 의한 접촉 측정 등 세 가지 측정 방식을 장착했습니다. 복잡한 측정 대상 물체의 치수 측정 시간을 큰 폭으로 단축할 수 있으며, 작업자에 따른 편차 없이 정확하게 측정할 수 있습니다.
원 샷 3D 형상 측정기 「VR-6000 시리즈」는 거칠기 측정기·윤곽 형상 측정기의 계측을 있는 그대로 비접촉으로 실현합니다. 프로브 방식으로는 측정할 수 없는 면 전체의 형상을 0.1 µm의 분해능으로 포착하는 3D 형상 측정기입니다. 뿐만 아니라 전동 회전 유닛도 새롭게 탑재하고 있으므로 샘플을 회전시키면서 측정하여 사각을 없앤 있는 그대로의 단면 형상을 재현할 수 있습니다. 지금까지는 절단을 통해서만 정확하게 측정할 수 있었던 부분의 두께나 깊은 부분의 치수를 간단하게 측정할 수 있습니다. 또한 HDR 스캔 알고리즘에 의해 스캔 능력이 향상되었기 때문에, 광학식 형상 측정기로는 측정하기 어려웠던 광택이 있는 대상 물체나 빛 반사가 약한 소재인 대상 물체도 순식간에 최적의 조건을 판단하여 정확하게 형상을 측정할 수 있습니다. 다이내믹 레인지를 기존 대비 최대 1000 배까지 확대한 스캔을 할 수 있습니다.