백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 VK-X3000 시리즈

백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 「VK-X3000 시리즈」는 레이저 공초점·백색 간섭·포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 구분해서 사용하는 「트리플 스캔 방식」을 채택하여 다양한 대상 물체를 고정도로 측정·분석할 수 있습니다. 최고 분해능 0.01 nm 실현을 통해 나노 레벨의 미세한 형상 변화도 정확하게 측정할 수 있습니다. 최대 스캔 에어리어가 50 mm×50 mm이므로 큰 요철이나 손바닥 사이즈인 대상 물체도 통째로 스캔할 수 있으므로 전체 형상도 부분 형상도 모두 파악할 수 있습니다. 또한, 경면체·투명체와 같은 난이도가 높은 소재도 고속·고정도로 광범위하게 측정합니다. 고배율/저배율, 평면/요철/표면 거칠기, 경면/투명 등 대상 물체에 제한이 없는 완전히 새로운 레이저 현미경입니다.